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88 %↑
製程水回收
各廠製程水回收率。
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90 %↑
廢水氨氮削減量
廢水氨氮削減量高達90%。
水資源政策與管理
力積電各營運據點用水均為自來水，主要水源包括新竹寶山第一、二水庫、鯉魚潭水庫及苗栗永和山水庫，依世界資源研究（World Resources Institute, WRI）水資源壓力地圖查詢，竹科以及子公司的水資源壓力等級為Low-Medium。2025 年全廠取水量為7,757.24 百萬公升，其中主要用水活動為製程用水、無塵室空調用水、處理製程廢氣所需洗滌水及廠內民生用水，其中製程用水占比最高（占總用水量約85%）。力積電已訂定累積至2030 年的節水量目標為216 百萬公升。
因應半導體製程之特殊需求，取得的自來水或製程回收水需經適當處理程序以符合使用標準。2025 年全廠超純水使用量為10,006,222 立方公尺，單位產品面積純水用量削減率為-3.21%，未達成每年承諾減少1% 之目標，主要原因為P5 廠自2024 年投入運轉及產能提升導致超純水需求增加，每日使用600 立方公尺再生水。 為提升水資源使用效率及確保水源穩定性，力積電以以下工作項目為核心推展各項管理計畫，逐年深化管理成效：
- 廠商公會與水利署召開水資源溝通會議，確保管理當局與企業管理目標之一致性
- 枯水期廠商與水利署加強水資源調度協商
- 參與科學園區廠商節水輔導專案
- 枯水期派水車至新竹市客雅水資中心載用再生水
- 穩定參與新竹地區用水計畫，興建新竹海淡水廠計畫
- 為員工提供水資源效率提升等其他水資源相關的教育訓練，提升員工節水意識，使其具備優化製程用水效率的能力
水資源共享
力積電透過同仁擔任產業公協會代表起，參與新竹科學園區舉辦「竹科園區廠商節水節能減碳輔導計畫」之節水方案，提供節水輔導與技術分享並落實改善廠內水資源系統。2025 年該計畫之輔導廠商預估每年總節水約114.3 萬公噸，而追蹤2024 年參與輔導的9 家廠商，其年度節水量約1,804 CMD，節水達成率194.4%。
2025 年，力積電亦舉辦竹科污水處理廠環境教育訓練課程及加藥與TOC 管理技術ESG 永續發展教育訓練，共88 人次參與。另P5 廠榮獲科管局114年度節水績優廠商。透過分享經驗，力積電不僅協助廠商降低對水資源的依賴，也促進園區間的交流與合作。
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水回收管理 |
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為因應近年臺灣降雨季節極端不均的狀況，力積電透過流程優化與設備投資，不斷提升水回收率及製程用水效率。自1996 年起，力積電即成為新竹科學園區首家承諾製程用水回收率達85% 以上的半導體廠商。2025 年製程水回收率平均達88%，已達成訂定目標，且12 吋廠用水量均控制在核定許可量的95% 以下。
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製程水回收計畫年均回收率 |
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2025 年度節水效益 |
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廢水管理 |
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力積電各廠的製程廢水皆經過廠內廢水處理廠進行前處理後，再排入園區污水處理廠進行後續處理及排放；為掌握不同成分的處理成效，依製程端排液種類、濃度、導電度等不同特性，分流為可回收及不可回收等共計20 種不同水系處理。其中部分廢酸液（磷酸／硫酸銅／硫酸／氫氟酸／氟化銨）及有機廢液（異丙醇／光阻液／去光阻液／顯影液）具備回收經濟價值，單獨分流除可降低廢水廠之加藥量外，亦可減少後端廢棄物處理難度與環境負荷。此外，力積電之放流水常態設有pH 及Fion 等檢測儀器，且科管局每月不定期抽驗放流水水質2 次，嚴格控管廠內放流水排放水質，並依廠區規範進行優先關注排放物質管理。近年來各廠放流水檢測值之年平均值皆遠低於園區之納管標準值，無發生任何未符合排放限值的事件。
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廢水回收及排放分類規劃 |
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放流水水質監測 |
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廢水處理流程 |
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製程回收水經由適當的回收水系統處理後回到純水系統重複使用增加回收率，針對高濃度無法回收廢水排至廢水處理系統（包含酸鹼、氟酸、研磨、氨氮廢水處理系統），處理完成後再納管進入園區污水廠進行後續處理以及排放，因此本公司之放流水並非直接排入河川水體，對水體及相關棲息地無直接影響，且力積電各廠區歷年廢水皆未發生對外嚴重洩漏，亦無重大罰款。
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雨污水系統 |
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為確保園區環境安全，本公司已在各廠區周界設置防溢堤及防洪泵浦，並在各建築物底層裝置防洪泵浦。當發生異常洩漏或暴雨淹水時，防洪泵浦將水打至廢水處理廠處理再排放至園區污水下水道。此外，化學槽車充填區均設置防溢溝，以防化學品洩漏污染環境。在高風險區域雨水溝內，亦設置異常事件排水抽取泵浦，可將異常污水回抽至廢水處理廠處理，以避免污染事件發生。相關措施皆符合公司內部雨水排作業規範。
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廢水氨氮削減量與處理技術 |
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