為防範臺灣近年降雨季極端不均的狀況，力積電透過流程優化與設備投資，提升水回收率及製程用水效率，於1996 年成為新竹科學園區第一家承諾製程用水回收率達85% 以上的半導體廠。2024 年製程水回收率平均達88%，已達訂定之85% 水回收率目標，且12 吋廠水量均控制在用水許可核備量的95% 以下。

力積電各廠的製程廢水皆經過廠內廢水處理廠進行前處理後，再排入園區污水處理廠進行後續處理及排放；為掌握不同成分的處理成效，依製程端排液種類、濃度、導電度等不同特性，分流為可回收及不可回收等共計20 種不同水系處理。其中部分廢酸液（磷酸／硫酸銅／硫酸／氫氟酸／氟化銨）及有機廢液（異丙醇／光阻液／去光阻液／顯影液）具備回收經濟價值，單獨分流除可降低廢水廠之加藥量外，亦可減少後端廢棄物處理難度與環境負荷。此外，力積電之放流水常態設有pH 及Fion 等檢測儀器，且科管局每月不定期抽驗放流水水質2 次，嚴格控管廠內放流水排放水質，並依廠區規範進行優先關注排放物質管理。近年來各廠放流水檢測值之年平均值皆遠低於園區之納管標準值，無發生任何未符合排放限值的事件。

製程回收水經由適當的回收水系統處理後回到純水系統重複使用增加回收率，針對高濃度無法回收廢水排至廢水處理系統（包含酸鹼、氟酸、研磨、氨氮廢水處理系統），處理完成後再納管進入園區污水廠進行後續處理以及排放，因此本公司之放流水並非直接排入河川水體，對水體及相關棲息地無直接影響，且力積電各廠區歷年廢水皆未發生對外嚴重洩漏，亦無重大罰款。

為確保園區環境安全，本公司已在各廠區周界設置防溢堤及防洪泵浦，並在各建築物底層裝置防洪泵浦。當發生異常洩漏或暴雨淹水時，防洪泵浦將水打至廢水處理廠處理再排放至園區污水下水道。此外，化學槽車充填區均設置防溢溝，以防化學品洩漏污染環境。在高風險區域雨水溝內，亦設置異常事件排水抽取泵浦，可將異常污水回抽至廢水處理廠處理，以避免污染事件發生。相關措施皆符合公司內部雨水排作業規範。